نام و نام خانوادگی: مسعود رجائی پور
عنوان پایان نامه : شبیه‌سازی سه‌بعدی فرایند اکسیداسیون حرارتی سیلیکون (پدیده‌ی نوک پرنده)
رشته تحصیلی: مهندسی برق – الکترونیک
مقطع تحصیلی: کارشناسی ارشد
استاد راهنما: دکتر مهران عمادی
چکیده: با پیشرفت صنعت، فرایند اکسیداسیون از بحث‌های مهم در زمینه‌ی الکترونیک گردیده است. هم‌چنین اکسیداسیون سیلیکون جایگاه مهمی در تولید ادوات نیمه‌هادی دارد ولی هنوز طرح ملموسی از نحوه‌ی نفوذ اکسید که به‌صورت واضح بیان‌گر موضوع باشد ارائه نشده است. بر این اساس در گام اول این پایان‌نامه به این مساله پرداخته شده که شبیه‌سازی سه‌بعدی فرایند اکسیداسیون حرارتی چیست و چرا از این فرایند استفاده می‌شود. هم‌چنین مزایای استفاده از این فرایند یک به یک مورد بررسی قرار گرفته است. روش انجام کار به این صورت می‌باشد که ابتدا یک مدل الکتریکی برای پدیده‌ی اکسیداسیون بیان شده و سپس به بیان روابط الکتریکی و اثبات آن پرداخته شده و بعد از این مرحله به یک فرمول جامع جهت بدست آوردن میزان ضخامت اکسید دست پیدا کرده و با ثابت نگاه داشتن پارامترهای طول و عرض اکسید، ضخامت اکسید را در نرم افزار متلب مورد بررسی و شبیه‌سازی قرار داده و به‌طور تخصصی پدیده‌ی نوک پرنده را بررسی کرده است.